vs_baronin (vs_baronin) wrote,
vs_baronin
vs_baronin

Category:

Неприятная правда о советском микроэлектронном производстве – завод «Ангстрем», 1985 и 1987 годы

Я подозревал, что свидетельство об интересной, скажем так, организации дел в постоянно оплакиваемой сейчас «советской микроэлектронике» рано или поздно появится в русском секторе интернета. Я не ошибся – буквально позавчера мне прислали ссылку с не самым неординарным и привлекательным названием «Интервью с рабочим завода по производству электронных микросхем».

Я сходил по ссылке – и тихо обалдел.

Честно говоря, и сейчас-то такой текст является – как минимум для сильно правоверных жителей родного Зеленограда – настоящей медиабомбой, и какой же степенью смелости должен был обладать сотрудник «Ангстрема», чтобы рассказывать совершенно непарадную правду о своем производстве в 1985 и 1987 годах!

Конечно, лица самых разных возрастов скажут мне, что я злостно клевещу. Но, во-первых, по рассказам своих товарищей и сотрудников по НИИТМ я уже в те годы имел представление о том, что представляет из себя «высокотехнологичное производство», и, как понимаете, я жил в Зеленограде и нюхал тогдашний зеленоградский воздух (а доходя до Горетовки, и горетовский тоже – там были склады химических материалов) – вот особенно когда на 8-й микрорайон задували ветры со стороны «Ангстрема» и «Элмы», тем более что до строительства нового 8-го микрорайона наш тогдашний 851 корпус был самый ближний к ним. И осаждавшееся на стеклах нечто помню, и неоднократный феномен желтого снега, и мертвые, со сожженными листьями деревья около «Элмы» летом 1982-го, и пожухлую траву в лесу за «Ангстремом»…

Одним словом, не пожалейте времени и постарайтесь прочитать, последовав по указываемой мною еще раз ссылке, эти 409 тысяч с чем-то знаков. Как бы ни была горька наша история, ее нужно знать – тем более в преддверии всяческой парадной трескотни и рассказов о том, как демократы развалили советскую микроэлектронику накануне официального 55-летия Зеленограда.

Кому интересно ознакомиться с цитатами – много неприятного под катом. Осуждения автором продукции НИИТМ, то есть систем обработки кремниевых пластин я опустил , оставаясь в каком-то смысле патриотом родного НИИ.

Под катом же – краткая информация об интервью и о его респонденте.

Опубликовано в сборнике «Производственные интервью», выпуск 1. М: ИНП РАН, 1988 г.

Респондент – Владимир Корсетов, рабочий завода «Ангстрем» (Зеленоград). В рассматриваемый период работал рабочим в одном из цехов. Организовывал в цеху «итальянские» забастовки, вступал с предприятием в юридические споры, судился и выигрывал судебные процессы. Пытался организовать независимый профсоюз.

Помимо протестной активности, В. Корсетов оказался внимательным наблюдателем. Его выводы о причинах неэффективности советского производства, безусловно, заслуживают внимания. В 1987 году, видя правоту многих аргументов В. Корсетова, администрация завода предложила ему должность заместителя начальника цеха для разработки экономического эксперимента. Эксперимент реализован не был, но В. Корсетов подробно разработал его принципы, которые описаны им в «Беседе второй».

В постсоветское время В. Корсетов стал предпринимателем.


…У нас очень много времени затрачивается на всевозможные продувки, так как мы имеем дело с высокотоксичными газами. Например, поднимать колпак реактора допустимо только после того, как произошла продувка азотом. На это дается определенное время, 10 минут. Это время дано с большим запасом, и рабочие очень сильно его сокращают, примерно до 2-х минут, а иногда и до 30 секунд. При этом люди, конечно, отравляются, то есть получают определенную дозу отравляющего вещества. Существует еще такого рода интересный резерв: дело в том, что наши предельно допустимые концентрации номинально установлены ниже, чем на Западе. Но реально эти ПДК, конечно не соблюдаются. Их, кстати, и проверять нечем. Нижний предел чувствительности наших газоанализаторов значительно выше нашего ПДК.

То есть фактическая загазованность у нас больше?

Несомненно, больше. На Западе у каждой установки стоит газоанализатор непрерывного действия. У нас контроль осуществляется в лучшем случае несколько раз за смену. Наши газоанализаторы очень примитивны, и к тому же плохо отлаживаются.

Нарушение техники безопасности – это единственная причина высокой загазованности?

Нет, не единственная, и я думаю, что не главная, так как в оборудовании существует масса утечек. Очень часто к усилению загазованности приводит некачественная наладка и некачественная проверка наладки. Недавно мы выяснили, что на соседней установке оператор травился каждый раз, когда поднимал колпак, причем это происходило на протяжении довольно продолжительного времени. Оказалось, что все клапаны, которые должны были держать ядовитый газ, давали утечку. Проверить эти клапаны, то есть провести опрессовку, было нельзя, потому что не работали соответствующие вентили. Только после скандала удалось добиться, чтобы вентили починили, и после этого выяснилось, что все течет.

Могу привести еще один пример. Когда реактор закрывают крышкой, то герметичность обеспечивается специальной резиновой прокладкой. Так вот, когда эти реакторы устанавливали, видимо, не оказалось нужных прокладок. Тогда взяли прокладку большего размера, кусок отрезали, а стык склеили каким-то клеем. Но клеевое соединение оказалось непрочным, и стык разошелся – образовалась щель около 1,5 мм. И так было на всех реакторах этого типа. Мы
ходили проверять на соседний участок, и там тоже была такая же история. Полтора миллиметра – это вроде бы немного, но надо учитывать, что используемые в нашей технологии газы по токсичности не уступают многим боевым отравляющим веществам. В общем, когда мы занялись этим вопросом, то есть стали требовать ликвидации утечек, я сразу почувствовал, что стал меньше кашлять (первый симптом хронического отравления – это кашель). Причем это улучшение было действительно объективным, так как уменьшение кашля заметила и моя жена.

Когда люди сами нарушают технику безопасности, они все-таки чувствуют примерные пределы допустимого, поэтому я считаю этот фактор менее значительным. Увеличение дозы сразу сказывается на самочувствии, и этот предел рабочие стараются не переходить. А влияние утечек очень трудно проконтролировать, так как утечки происходят не только на нашем участке, но и во всем цехе, причем набор отравляющих веществ просто фантастический, там есть все: сурьма, мышьяк, всевозможные излучения (рентгеновские, высокочастотные и др. ), растворители, кислоты (включая плавиковую), токсичные газы, включая соединения фосфора, и т. д. Некоторые газы используются в высокой концентрации: 20%, а то и 100%. Очень серьезное трения у нас были из-за того, что администрация хотела перейти на технологию с использованием 100% фосфина. Фосфин – это очень ядовитый газ. Мы настаивали на том, чтобы при переходе на 100% фосфин на участке было установлено импортное оборудование, которое гарантирует от утечек, так как в этом случае любая утечка может привести к смертельному отравлению. Сейчас администрация отказалась от использования 100% фосфина: видимо, руководители поняли, что риск слишком велик.

Хорошо ли работает вентиляция Вашего цеха?

Я бы не сказал, что наша вентиляция хорошо работает. Какую-то часть токсичных веществ она, конечно, удаляет, но наряду с этим она перемешивает воздух по цеху. Дело в том, что для обеспечения подачи чистого воздуха на рабочие места у нас существуют нагнетательные модули. Система нагнетания работает двухступенчато, то есть сначала воздух подается в цеховое пространство, а затем из атмосферы цеха подается к конкретным участкам и рабочим местам. Совместная работа нагнетательных модулей и вентиляции создает, по-видимому, очень сложную аэродинамическую систему, которую невозможно рассчитать или смоделировать. Не знаю, было ли такое проектное решение единственно возможным, во всяком случае, перемешивание воздуха в цехе ощущается просто по запаху. Если человек ходит по цеху, он постепенно получает всю массу воздействий, причем чувствуется, что запахи периодически меняются. К концу смены эти вредные воздействия, в общем, уже дают о себе знать, многие начинают чувствовать тошноту и другие признаки отравления. Причем это относится не только к тем, кто работает на конкретном оборудовании, но и практически ко всем кто находится в цехе. Восемь часов в цехе уже очень тяжело находиться. В частности это сразу почувствовали те работники, которым недавно отменили льготы по вредности и увеличили продолжительность смены с 7 до 8 часов. Это сказывается также на инженерном составе, у которых рабочий день не нормирован, и которые находятся в цехе значительно больше рабочих (бывает, что по 12–15 часов). Все эти вещи сильно сказываются на продолжительности жизни. У нас некрологи на умерших работников вывешиваются возле проходной. Я специально обращал внимание: если инженерный работник работает у нас больше 15 лет, и при этом работал в цехе, он обычно не доживает до 55 лет. В некрологах постоянно мелькают цифры: 45 лет, 50 лет, 55 лет максимум. Любопытно отметить, что уровень загазованности в цехе зависит во многом от самих же инженеров.

Про вредность можно еще добавить, что у нас в цехе и в других основных цехах работает очень много женщин. Я считаю, что женщины отравляются у нас сильнее, чем мужчины. Дело в том, что женщины более пассивны, и они меньше настроены «качать права». Их зарплата, как правило, значительно меньше, чем у мужчин, так как мужчины умеют где-то криком, а где-то давлением на администрацию и почти забастовками, «работок по правилам» добиться того, что заработок у нихстановится выше. Администрация тоже понимает, что мужчина должен кормить семью, и поэтому ему нужна более высокая зарплата. Сходные вещи происходят и с вредностью. Известно, например, что женщины практически не обращаются в заводской медпункт с травмами, отравлениями и т. п. Отчасти это происходит потому, что женщины аккуратнее работают, но и не только поэтому. Они вообще не склонные куда-то идти и что-то доказывать. Если работница на «женском» участке отравилась или получила травму, ее потихоньку отпускают домой, а случай нигде не регистрируется, никто ничего об этом не знает. Такое поведение работников (и не
только женщин) является вполне понятным, если учесть, что обращение в медпункт с производственной травмой или отравлением, по сути, означает скандал, т. к. работник, во-первых, должен доказать, что это отравление было, а во-вторых, что оно произошло не по его вине.

Женщин у нас, как правило, работают с открытыми, то есть не имеющими герметизации установками (типичный пример – участок гальваники), и концентрации токсичных веществ там, несомненно, очень велики.

Сейчас администрация нашего завода привлекает на работу много молодежи, в том числе девушек, которые не понимает, куда идут. В результате у нас в городе, где очень многие работают на таких предприятиях, наблюдается большой процент выкидышей, рождений дефективных детей и т. п.

Вы говорили, что у Вас был конфликт из-за утечек ядовитых газов?

Да. Начался он с того, что нам попытались заявить, что никакой вредности у нас нет. В ответ нам пришлось писать письмо в Госкомтруд и другие организации и указывать на конкретные факты наличия вредности и нарушений техники безопасности. В результате многие указанные нами нарушения были исправлены. Это бы, так сказать, побочный, но, безусловно, очень полезный для всех нас эффект. Раньше имеющиеся на участке газоанализаторы (отечественные) вообще по три месяца могли не работать, а сейчас они более или менее работают. Установили один импортный газоанализатор, но к нему почему-то не оказалось баллонов с калибровочной смесью, без которых прибор работать не может. Целая история была, как эти баллоны потом за валюту закупались через Швейцарию. Но администрации деваться было некуда, потому что они записали этот анализатор себе в план. А записали в план тоже не просто так, а потому, что из-за писем и жалоб в цех стали ходить комиссии и указывать цеховому руководству: у вас этого нет, того нет, и так далее. Если посмотреть в инструкцию по технике безопасности, то окажется, что почти ничего нет. В результате выяснилось, что до этого момента мы, сами того не подозревали, получали ежедневно дозу по 6–8 ПДК, на некоторых участках и еще больше, хотя в коллективном договоре написано, что вредность не должна превышать 1 ПДК. 6–8 ПДК – это очень много, и это безусловно сказывается на нашем здоровье и самочувствии. В частности, от воздействия фосфина выпадают волосы, люди быстро лысеют. Это проявляется уже через 3.5–4 года работы в загазованной атмосфере. Но это такой вид воздействия, который можно видеть невооруженным глазом. Помимо этого фосфид очень плохо действует на кровь, на легкие, на другие внутренние органы. Все это, кстати, описано в наших цеховых инструкциях. Но ухудшение здоровья при хроническом отравлении бывает очень постепенным, и обычно бывает трудно понять, из-за чего оно происходит. Нам говорили, что нормы у нас высокие, имеющиеся на участке приборы вроде бы не показывали загазованности, и все считали, что все в порядке. Надо еще сказать (я уже говорил об этом), что врачи очень неохотно ставят диагноз производственная травма или производственное отравление. Это происходит лишь в явных случаях. Такой случай был лично со мной. Но я думаю, что врачи отреагировали так серьезно лишь потому, что незадолго до этого в соседнем цехе произошел смертельный случай. Там человек отравился арсином, и никто толком не знает, как это произошло. Есть гипотеза, что он вдохнул этот газ при смене баллонов, и сам не заметил этого. Арсин – это мышьяковистый водород, газ намного более ядовитый, чем фосфин. Через некоторое время у человека начался понос, он пошел к врачу, и тот поставил ему диагноз: расстройство желудка. Боль в пояснице врач объяснил радикулитом. Короче, ему дали таблетку и отправили домой. Дома у него началась рвота. Вызвали скорую помощь, она повезла его в инфекционное отделение, пока его везли, у него отказала печень. Тут поняли, что дело нечисто, и на скорой повезли в специальную больницу, но было уже поздно. Через сутки он скончался, и ничего сделать не смогли.

Вскоре после этого отравление средней тяжести произошло со мной. Получилось это таким образом: на установке засорились пути выведения газов, и создалось избыточное давление. Это довольно частая неисправность, потому что в результате реакции образуется пыль двуокиси кремния (это все равно, что мелкий песок), которая постоянно засоряет трубы. Однако реактор не рассчитан на избыточное давление, и в этом случае фосфин начинает вытекать из-под колпака. Я делал какие-то дела на своем рабочем месте и вдруг осознал, что явственно чувствуется запах. Приблизившись к реактору, чтобы перекрыть подачу газа, я попал под струю, которая била из-под колпака. Обычно в таких случаях врач отпускает человека домой и иногда дает освобождение еще и на следующий день. Но после недавнего смертельного случая в медпункте поднялся переполох, оказалось, что никто толком не знает, что такое фосфин, стали смотреть какие-то справочники, а затем вызвали скорую помощь. Врач со скорой первым делом обнюхал меня и, убедившись, что я не пьян, посадил в машину и со страшной скоростью покатил в больницу, где меня положили в реанимацию. Конечно, это была перестраховка, так как отравление не было таким сильным. Продержали в больнице около 10 дней.

Характерно, что во всех случаях производственных травм и отравлений администрация пишет, что случай произошел по вине самого рабочего, и профсоюзные работники всех рангов подписывают такое заключение. В описанном выше случае пришлось по суду доказывать, что отравление произошло не по моей вине: после выхода из больницы я был лишен тринадцатой зарплаты за нарушение правил техники безопасности. Процесс удалось выиграть, и взыскание было отменено.

Насколько серьезно воспринимают рабочие вопросы вредности и техники безопасности?

К сожалению, недостаточно серьезно, для них более важна заработная плата. Что же касается вредных факторов, то пока человек молод и здоров, эти вещи его не очень затрагивают. У нас в цехе в основном работает молодежь, и надо сказать, что администрация сознательно стремится набирать именно молодых рабочих. Думаю, что в числе прочих соображений здесь играют роль и соображения, связанные с вредностью. Старики более чувствительны к вредным воздействиям и обладают большим жизненным опитом в этом отношении, то есть с ними администрации было бы труднее. Очень много берут лимитчиков. Это также делается сознательно. Сейчас лимитчики поставлены в очень подчиненное положение. Они около 10 лет должны дожидаться получения жилья, поэтому у них меньше желания «качать права».

[…]

Прежнему министру было труднее заморочить голову?

Я считаю, что да. Вообще, очковтирательство сейчас развито очень сильно. Положение дел в электронике очень тяжелое, так как производственная база устарела, все наши новые так сказать «достижения» никуда не годятся. У нас в цехе установлен новый автоматический модуль отечественного производства. Его эффективность нулевая, он не работает, хотя стоит громадные деньги. Гораздо разумнее было построить несколько модулей обыкновенных, работающих, вместо этого нового, стоящего миллион рублей. И главное, что выяснилось не без моего участия, это то, что товарищи из министерства упустили очень важную проблему – развитие базы контрольно-измерительного оборудования. Пока такое оборудование можно было покупать на Западе, так и поступали. Точнее, частично покупали, а частично пытались обходиться вообще без этого оборудования. В нашем цехе работающее контрольно-измерительное оборудование – все западное. Отечественных аналогов, даже отдаленно приближающихся к зарубежным, у нас нет. В итоге ситуация такова, что производство работает «вслепую».

[…]

…Для того, чтобы эффективно организовать производство и заработную плату, необходимо наладить качественный технический контроль, а для этого необходимо соответствующее оборудование. Но именно этого-то оборудования и нет.

Оно вообще не выпускается в нашей стране?

Так получается, что у нас вкладывают миллионы рублей в совершенно не действующие автоматические линии, а такие необходимые приборы, как контрольное оборудование, не изготовляются. Почему это происходит? Считается, что мы можем действовать по японскому методу – ничего не контролировать. Но здесь есть существенное замечание – японцы контролируют параметры во время изготовления пластины с помощью автоматической системы контроля. Ничего не контролировать для них означает: не контролировать готовое изделие, так как в этом нет необходимости. Я не говорю уже о том, что технология у них отлажена до совершенства, оборудование работает практически без сбоев, и строго выдерживает параметры.

У нас нет своего контрольного оборудования, а то, которое есть – крайне архаично и не обладает достаточной точностью. Не хватает даже микроскопов.

Мало производится отечественных микроскопов или в цехе их не хватает вообще?

Вообще не хватает, и в частности в нашем цехе, где нам необходимы немецкие микроскопы, так как отечественными можно пользоваться в очень ограниченных пределах. А такая вещь, как замер параметров фотолитографии, от которой очень сильно зависит качество микросхемы, осуществляется таким образом: совмещается контактная сетка с «рисунком». Отклонение «рисунка» от сетки и дает представление о качестве микросхемы. Чем точнее совпадение, тем лучше микросхема. Степень отклонения определяется с помощью специального барабана на микроскопе, который позволяет подвести риски к определенным трем точкам на «рисунке» и таким образом замерить отклонение. Метод, как Вы видите, архаичный и недостаточно точный. Но даже такой простой измерительной техники не хватает.

Можно ли поподробнее перечислить измерительное оборудование, которого нет?

Я столкнулся с такой ситуацией, что вообще не выпускается оборудование для операции ионного легирования, хотя в мире оно существует и у нас на заводе есть такой прибор. По правилам техники безопасности он должен находиться вне цеха и стоять в специальной, так называемой, ртутной комнате. Проблема его использования состоит в том, что он очень непроизводителен, и осуществлять оперативный контроль с помощью этого оборудования невозможно. С его помощью процессы легирования контролируются один, в лучшем случае два раза в неделю.

Так делают во всем мире?

Это мне неизвестно. Специфика данной операции заключается в том, что качество ионного легирования можно проконтролировать только после термического отжига. Суть процесса ионного легирования состоит во внедрении (имплантации) ионов в платину и разрушении ее структуры. Само внедрение ионов необходимо для создания слоя другого заряда. Такое разрушение не позволяет контролировать какие-либо параметры до восстановления структуры, что и происходит во время термической обработки. Поэтому все параметры ионного легирования можно проконтролировать только после термической обработки. Вновь возникает ситуация, когда очень трудно определить, на какой из двух операций допущен брак.

Применительно к операции ионного легирования выход может быть найден такой. Существует возможность контролировать процесс термообработки, такая возможность есть: контроль температуры и времени разгонки. С этой целью достаточно поставить соответствующий прибор, который будет выведен на АСУ. При достаточно небольшом резерве памяти на АСУ можно хранить полученную информацию 2–3 дня на случай «вылета» этого процесса. Если на основе этой информации выясняется, что процесс термообработки шел нормально, то в случае брака виновато будет ионное легирование.

Описанный мной вариант реален, но и с ним не все в порядке. Проблема опять-таки заключается в отсутствии качественных приборов, которые можно было бы подключить к АСУ. На нашем производстве такие датчики установлены импортные, причем очень старые, примерно 25-летней давности. Есть и отечественные аналоги, очень неточные. Они выпускаются уже более 20 лет, и ничего более современного им на замену не создано. Я лично видел описание этих датчиков, датированное 1967 годом.

Если идти дальше по технологической цепи, то следующий этап, подлежащий рассмотрению, – это напыление алюминия. Это операция, которую, вообще говоря, контролировать можно. Контролироваться должна плотность слоя, так как соблюдение этого параметра играет большую роль при травлении. Если слой неравномерен, различен по структуре, то это сказывается при травлении. Нанесение следующего слоя из-за растравливания предыдущего очень усложняется. Из-за «растрава», возникшего вследствие некачественного напыления алюминия, многие пластины приходится просто выбрасывать.

Установка для напыления алюминия называется «карусель». В нее вставляется 9 пластин. Толщину напыления контролируют так: берется отвертка и ей наносится царапина на «пластине-спутнике», после чего «спутник» кладут под микроскоп и обыкновенным способом по рискам определяют толщину слоя. Такой способ определения толщины крайне неточен, по нему невозможно удерживать» параметры в пределах технологических допусков. Для качественного контроля толщина напыления алюминия необходима рентгеноспектральная установка. Оборудование – импортное, сложное, отечественные аналоги отсутствуют. В цехе имеется одна такая установка, но ее используют для контроля готовых микросхем. Для контроля качества на промежуточных операциях необходимого оборудования нет.

Все эти примеры я привел для того, чтобы показать, что проблема контроля технологических параметров между операциями или во время самого технологического процесса на нашем производстве не ставилась. Никогда не ставился какие параметры необходимо контролировать, в каких местах должен быть налажен контроль, какие параметры удобнее или выгоднее контролировать. Тем более, никогда не ставился вопрос увязки проблем технического контроля с вопросами организации заработной платы.

А как обстоит дело на других заводах Вашей отрасли?

Наше производство является базовым в стране. На остальных заводах может быть только хуже, и притом намного.

[…]
Tags: Зеленоград
Subscribe
  • Post a new comment

    Error

    default userpic

    Your reply will be screened

    Your IP address will be recorded 

    When you submit the form an invisible reCAPTCHA check will be performed.
    You must follow the Privacy Policy and Google Terms of use.
  • 2 comments